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非晶硅太阳能电池沉积设备主要用于在玻璃基片上沉积非晶硅薄膜工艺，是太阳能电池生产线上的关键设备，该设备有炉体机柜、电器控制柜、气路系统、真空系统、压力控制系统和R F电源等组成。采用工作站实行了全自动控制：并且有高精度的压力控制系统。通过该设备在基片上生长外延膜，在片内、片间和批间的均匀性和一致性都达到了国际同类产品水平。
